氣體檢測變送器的技術工藝

氣體檢測變送器作為一種探測和監測有毒氣體的儀器，為在有害氣體現場工作的工作人員提供安保障。氣體檢測變送器是在微電子和微機械迅速發展的基礎上，基于MEMS的新型微結構氣敏傳感器，主要有硅基微結構氣敏傳感器和硅微結構氣敏傳感器。硅基微結構氣敏傳感器是襯底為硅，敏感層為非硅材料的微結構氣敏傳感器。主要有金屬氧化物半導體、固體電解質型、電容型、諧振器型。硅微結構：主要是金屬氧化物－半導體－場效應管（MOSFET）型和鈀金屬－絕緣體－半導體（MIS）二極管型。

氣體檢測變送器MEMS技術將傳感器與IC電路集成一起，而且精度高、體積小、質量輕功耗低、選擇性高、穩定型高，同種器件之間的互換型高，可以批量生產。所以是傳感器工藝的發展方向，而且基本所有的傳感器都可以用MEMS技術生產。隨著MEMS技術和納米技術的發展，將會給氣敏傳感器的發展提供更廣闊的的前景。同時實現傳感器陳列，也就是電子鼻集成成為可能，并將有很大的發展空間，給傳感器帶來新的發展篇章。

為了實現NDIR氣體傳感器的測量、控制以及自動標定等功能，需要一個合適的微控制器來管理傳感器。傳感器測控系統通過采集紅外輸出信號及測量標準氣體曲線，采用非線性校正算法可以直接得到測量氣體的濃度。通過采用以上技術，NDIR紅外氣體傳感器的結構比以往儀器將大大簡化，儀器功耗也大幅度降低（只有以往的1/4），傳感器的成本也不到以往技術的1/4。此類傳感器可以實現模塊化和標準化，因此更加適合在我國廣泛使用。